คำอธิบาย:
บอร์ดควบคุม PCB ของ LAM Research เป็นแผงวงจรพิมพ์หลักแบบ OEM ของแท้ ที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์การกัดเซมิคอนดักเตอร์และการประมวลผลฟิล์มบางของ Lam ในฐานะโครงข่ายควบคุมหลักของเครื่อง บอร์ดเหล่านี้ทำหน้าที่ประมวลผลสัญญาณความเร็วสูง การควบคุมลอจิกแบบเรียลไทม์ การเก็บข้อมูล I/O อย่างแม่นยำ การกระจายพลังงาน และการสื่อสารระหว่างระบบ ผลิตภายใต้มาตรฐานคลีนรูมของเซมิคอนดักเตอร์อย่างเข้มงวด และเทคโนโลยี PCB หลายชั้นความหนาแน่นสูง ทำให้มีประสิทธิภาพการต้าน EMI การต้านการสั่นสะเทือน และการปล่อยก๊าซต่ำที่ยอดเยี่ยม เพื่อรองรับการทำงานระยะยาวที่เสถียรในสภาพแวดล้อมสุญญากาศพลาสมา ช่วยรับประกันความแม่นยำของกระบวนการเวเฟอร์และผลผลิตการผลิตของโรงงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
คุณสมบัติหลัก:
- ซีรีส์ทั้งหมดครอบคลุมบอร์ดโหนด CPU หลัก, บอร์ด I/O VIOP, บอร์ดเก็บข้อมูลอุณหภูมิ, บอร์ดไดรเวอร์พลังงาน, บอร์ดจุดเชื่อมต่อการสื่อสาร และบอร์ดอินเทอร์เฟซเซนเซอร์ ซึ่งสามารถใช้งานร่วมกับระบบย่อยควบคุมทั้งหมดของอุปกรณ์กระบวนการ Lam ได้อย่างสมบูรณ์
- เลย์เอาต์ PCB หลายชั้นคุณภาพสูงพร้อมการควบคุมอิมพีแดนซ์ มีการลดสัญญาณรบกวนอย่างยอดเยี่ยม การลดทอนสัญญาณต่ำ และความเร็วการส่งข้อมูลสูง เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการประมวลผลสัญญาณ RF ความถี่สูงและสัญญาณเซนเซอร์ความอ่อนภายในห้องกระบวนการ
- ใช้ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์เกรดอุตสาหกรรมยานยนต์ ช่วงอุณหภูมิการทำงานกว้างตั้งแต่ -40°C ~ +85°C มีการออกแบบป้องกัน ESD อย่างเข้มงวด ทำให้มีประสิทธิภาพเสถียรภายใต้สัญญาณรบกวนจากพลาสมาที่รุนแรง อุณหภูมิสูง และการทำงานต่อเนื่อง 24/7 ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์
- รองรับ VME bus, Ethernet, RS232/485 และโปรโตคอลการสื่อสารเฉพาะของ Lam สามารถเชื่อมต่อแบบ plug-and-play ได้อย่างราบรื่นกับตัวควบคุมหลักของ Lam, โมดูลก๊าซ MFC, เครื่องวิเคราะห์ endpoint spectrometer และชุดไดรฟ์เซอร์โว
- มีวงจรป้องกันแรงดันเกิน กระแสเกิน ไฟฟ้าลัดวงจร และอุณหภูมิเกินในตัว พร้อมพอร์ตดีบักสำหรับการอ่านรหัสข้อผิดพลาดแบบเรียลไทม์และการแก้ไขปัญหาอย่างรวดเร็วเพื่อลดเวลาหยุดทำงานของอุปกรณ์
การใช้งานทั่วไป:
- อุปกรณ์การกัดกระบวนการหลักของ Lam: 2300 Flex, Kiyo series, ระบบกัด ExAL
- การกัดพลาสมา, การเคลือบฟิล์มบาง PVD/CVD, อุปกรณ์การประมวลผลเวเฟอร์ในสุญญากาศ
- การควบคุมแบบเรียลไทม์ของอุณหภูมิห้อง, ความดัน, การไหลของก๊าซ, พลังงาน RF และการลำเลียงเวเฟอร์
- ระบบตรวจจับ endpoint, ระบบ interlock ความปลอดภัย F&G และการแลกเปลี่ยนข้อมูลกับโฮสต์ของอุปกรณ์
คำถามที่พบบ่อย:
Q1:What is the product situation and warranty like?
A:สินค้าแท้ใหม่ทั้งหมด รับประกัน 1 ปี
Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal supported.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:รุ่นมาตรฐานมีสินค้าในสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
การจัดส่งและการติดตาม
A:มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง พร้อมการติดตามแบบครบกระบวนการโดยทีมงาน
บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
บรรจุภัณฑ์แบรนด์ของแท้พร้อมการป้องกันเสริมแรง (โฟม กล่องซีล และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก