คำอธิบาย:
ตัวควบคุมหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์ Brooks PRI เป็นระบบควบคุมการเคลื่อนไหวความแม่นยำสูงระดับคลีนรูม ออกแบบโดย Brooks Automation (USA) สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ในฐานะหน่วยควบคุมหลักของหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์ Brooks PRI ทำให้สามารถขนย้ายเวเฟอร์ขนาด 150mm, 200mm และ 300mm ได้อย่างแม่นยำ เชื่อถือได้ และปราศจากการปนเปื้อนในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเป็นส่วนประกอบสำคัญของ EFEM (Equipment Front-End Module) และระบบอัตโนมัติของเครื่องมือกระบวนการ
ข้อมูลจำเพาะหลัก:
- แหล่งกำเนิดและการใช้งาน: ตัวควบคุมที่ผลิตในสหรัฐอเมริกาสำหรับระบบอัตโนมัติในคลีนรูมของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดการเวเฟอร์ขนาด 150mm, 200mm และ 300mm โดยทำหน้าที่เป็นหน่วยควบคุมหลักสำหรับ EFEM และระบบการผลิตส่วนหน้า
- ประสิทธิภาพความแม่นยำสูง: มาพร้อมระบบควบคุมเซอร์โวหลายแกนและความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งระดับไมครอน ช่วยให้การถ่ายโอนเวเฟอร์มีความเสถียร ความเร็วสูง และปราศจากความเสียหาย ทั้งในสภาพแวดล้อมบรรยากาศปกติและสุญญากาศ
- ความเข้ากันได้ยอดเยี่ยม: เป็นไปตามข้อกำหนด ESD และมาตรฐานคลีนรูมที่เข้มงวด รองรับ SECS/GEM และ Ethernet สำหรับการเชื่อมต่อกับระบบโฮสต์ของโรงงานได้อย่างง่ายดาย
- การทำงานที่เชื่อถือได้: ผ่านการทดสอบภาคสนามสำหรับการทำงานตลอด 24 ชั่วโมง เป็นตัวเลือกที่เชื่อถือได้และคุ้มค่าสำหรับการบำรุงรักษา การเปลี่ยน และการอัปเกรดสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รุ่นเก่า
การใช้งานทั่วไป:
- ทำให้การโหลดและถอด FOUP และการจัดแนวเวเฟอร์ล่วงหน้าเป็นอัตโนมัติ
- ถ่ายโอนเวเฟอร์สำหรับกระบวนการเอทชิง การสะสมฟิล์ม และโฟโตลิโทกราฟี
- รองรับกระบวนการทดสอบเวเฟอร์ การตรวจสอบ และเมโทรโลยี
- เหมาะสำหรับสายการผลิต งานวิจัยและพัฒนา และโครงการคลีนรูมต้นแบบ
คำถามที่พบบ่อย:
Q1: สภาพสินค้าและการรับประกันเป็นอย่างไร?
A: สินค้าใหม่แท้ รับประกัน 1 ปี
Q2: เงื่อนไขการชำระเงินเป็นอย่างไร?
A: รองรับ T/T, Paypal
Q3: ระยะเวลาในการจัดส่งสินค้าคือเท่าไร? มีสต็อกเพียงพอหรือไม่?
A: รุ่นมาตรฐานมีสต็อก จัดส่งภายใน 3–5 วันทำการหลังชำระเงิน รุ่นที่หายากต้องสั่งจากผู้ผลิต—กรุณาติดต่อฝ่ายบริการลูกค้าเพื่อสอบถามระยะเวลา
Q4: การจัดส่งและการติดตาม
A: มีบริการ DHL/FedEx/UPS หมายเลขติดตาม + ลิงก์จะถูกให้หลังการจัดส่ง ทีมงานของเราตรวจสอบตลอดกระบวนการ
Q5: บรรจุภัณฑ์และความปลอดภัย
A: บรรจุภัณฑ์ดั้งเดิมจากแบรนด์พร้อมการป้องกันเสริม (โฟม กล่องปิดผนึก และลังไม้สำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ) ทนความชื้นและแรงกระแทก